一、單波長色散X射線熒光光譜儀原理：

    用全聚焦型雙曲面彎晶將微焦斑X線管(可看作點光源)發射的原級X射線的某個波長(通常選取出射譜中的特征X射線)的X射線單色化并聚焦于樣品測試表面，激發樣品中元素的熒光X射線。由于入射到樣品的X射線具有很好的單色性，幾乎不存在連續譜，因此從樣品出射的X射線除了樣品中的元素被激發產生的熒光X射線(線光譜)和單色入射線的瑞利散射和康普頓散射以外，幾乎不存在連續散射背景。因此待測元素特征線具有極低的背景。樣品上出射的X射線(可視作點光源)中待測元素的特征熒光X譜線經全聚焦型雙曲面彎晶衍射，得到具有極低背景的特征X射線，并聚焦到探測器上進行探測，由特征X射線強度進行元素含量的定量分析。

二、單波長色散X射線熒光光譜儀優點：

    由于采用單波長激發并按波長色散原理進行待測元素的特征熒光X射線檢測，極低的背景帶來極低的檢出限，將X射線熒光光譜分析的領域由微量(ppm級)延伸到痕量(亞ppm到ppb級)。結合X射線熒光光譜分析的快速、無損的優點，單波長激發波長色散X射線熒光光譜儀在諸如食品安全、水質監測等常規XRF無法涉足的領域必將得到廣泛的應用。

三、單波長色散X射線熒光光譜儀缺點：

    全聚焦型雙曲面彎晶制作工藝極其復雜，成品率低，成本較高。