聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自化工儀器網(wǎng)
400-875-1717轉(zhuǎn)866
400-875-1717轉(zhuǎn)866
當(dāng)前位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > x射線(xiàn)衍射儀 > 半導(dǎo)體專(zhuān)用儀器 > Wafer XRD
簡(jiǎn)要描述：Wafer XRDPanalytical X射線(xiàn)技術(shù)用于全自動(dòng)晶圓揀選、生產(chǎn)和質(zhì)量控制。
更新時(shí)間：2025-06-25產(chǎn)品型號(hào)：訪(fǎng) 問(wèn) 量：1422
產(chǎn)品分類(lèi)
PRODUCT相關(guān)文章
ARTICLES詳細(xì)介紹
Wafer XRD用于全自動(dòng)晶圓揀選、生產(chǎn)和質(zhì)量控制
特點(diǎn)
適用于3到8寸晶圓。也可根據(jù)要求提供其他尺寸
FOUP、載具或單個(gè)晶圓臺(tái)
跨槽晶圓識(shí)別為可選功能
易于集成到任何工藝生產(chǎn)線(xiàn)中
測(cè)量速度：每個(gè)樣品＜10秒
典型標(biāo)準(zhǔn)偏差（傾斜度）：例如Si 100＜0.003°
MES和SECS/GEM接口
銅靶微焦點(diǎn)風(fēng)冷X射線(xiàn)光管（**30W）或細(xì)焦點(diǎn)水冷X射線(xiàn)光管（**1.5kW）
符合CE標(biāo)準(zhǔn)的安全控制裝置
通過(guò)3色燈塔指示狀
材料
Si、SiC、GaAs、GaN、藍(lán)寶石（Al?O?）、Ge、AIN、石英、InP和100s等。
可選插件
電阻率測(cè)量范圍：0.01至0.020Ωcm
自動(dòng)識(shí)別晶圓數(shù)據(jù)矩陣碼、二維碼、條形碼或類(lèi)似代碼
未拋光晶圓和鏡面的距離測(cè)量
年產(chǎn)1,000,000片晶圓
產(chǎn)品咨詢(xún)
版權(quán)所有©2025 馬爾文帕納科 All Rights Reserved 技術(shù)支持：化工儀器網(wǎng) sitemap.xml
微信掃一掃
訪(fǎng)問(wèn)手機(jī)端
微信掃一掃
