X射線熒光光譜儀是一種基于X射線激發原理的非破壞性分析儀器，通過測量物質受激發后產生的特征X射線熒光，實現元素定性與定量分析。其核心原理為：高能X射線或伽馬射線轟擊樣品時，樣品中原子內層電子被擊出，形成空穴，外層電子躍遷填補空穴時釋放特征X射線。不同元素的特征X射線具有特定能量或波長，探測器捕獲這些信號后，儀器軟件將其轉化為元素種類及含量信息。

　　X射線熒光光譜儀其主要技術特點如下：

　　1、分析速度快，效率高

　　XRF分析過程非常迅速，通常在10秒到幾分鐘內即可完成對樣品中多種元素的同時測定。

　　無需復雜的樣品前處理，尤其對于固體樣品，可直接進行測量，極大地提高了檢測效率。

　　2、非破壞性分析

　　這是XRFz突出的優點之一。檢測過程中，樣品不會被化學溶解或物理破壞，其化學狀態和物理形態基本保持不變。

　　同一樣品可以進行多次重復測量，結果重現性好，特別適用于珍貴樣品、文物、藝術品的檢測。

　　3、分析范圍廣，多元素同時檢測

　　可同時分析從鈉（Na）到鈾（U）的多種元素（部分儀器可測更輕元素）。

　　一次測量即可獲得樣品中多種元素的定性（元素種類）和定量（元素含量）信息，適用于復雜基體的分析。

　　4、樣品適應性強，制樣簡單

　　可分析固體、粉末、液體、薄膜等多種形態的樣品。

　　對于固體樣品，通常只需表面平整即可；粉末樣品可壓片或熔融成玻璃片；液體樣品可直接倒入樣品杯測量。

　　這種簡單的制樣過程降低了操作難度和分析成本。

　　5、分析精度高，穩定性好

　　現代XRF儀器采用高穩定性的X射線管和高性能探測器，分析精密度高，含量測定可達到ppm（百萬分之一）級別。

　　儀器運行穩定，長期使用性能可靠。

　　6、物理分析方法，受化學狀態影響小

　　XRF是一種物理分析方法，其分析結果主要與元素的原子序數和含量有關，而與元素的化學結合狀態（如化合價、分子結構）關系不大。

　　這使得它在分析同一族元素或復雜化合物時具有優勢。