X射線熒光光譜儀應用于水泥、鋼鐵、建材、石化、有色、硅酸鹽、煤炭、高嶺土、耐火材料、科研、環保等行業，是一種中型、經濟、高性能的光譜儀。采用固定通道，減少測量時間；固定通道尤其適用于熒光產額較低的輕元素和微量元素的測定，以提高分析精度和靈敏度。X熒光光譜儀采用操作方便，用戶習慣的智能化軟件，提供全自動分析操作，實現快速定性、定量分析和半定量分析。
X射線熒光光譜儀具有重現性好，測量速度快，靈敏度高的特點。能分析B(5)~U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業樣品。無標半定量方法可以對各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結果，結果準確度對某些樣品可以接近定量水平，分析時間短。薄膜分析軟件FP-MULT1能作鍍層分析，薄膜分析。測量樣品的大尺寸要求為直徑51mm，高40mm。
X射線熒光光譜儀可分為具有高分辨率的光譜儀，分辨率較低的便攜式光譜儀，和介于兩者之間的臺式光譜儀。高分辨率光譜儀通常采用液氮冷卻的半導體探測器，如Si（Li）和高純鍺探測器等。低分辨便攜式光譜儀常常采用正比計數器或閃爍計數器為探測器，它們不需要液氮冷卻。近年來，采用電致冷的半導體探測器，高分辨率譜儀已不用液氮冷卻。同步輻射光激發X射線熒光光譜、質子激發X射線熒光光譜、放射性同位素激發X射線熒光光譜、全反射X射線熒光光譜、微區X射線熒光光譜等較多采用的是能量色散方式。
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