X射線熒光光譜儀是用來測定物質中元素的種類和含量的儀器，大家都知道物質是由元素構成的，每一種元素的原子能級結構是特定的，躍遷時產生的特征X射線的能量也是固定的（兩軌道電子殼層的能量差）。因此通過測定特征X射線的能量，便可以確定相應元素，而特征X射線的強弱則代表該元素的含量。
X射線熒光光譜儀用于固體、粉末或液體物質的元素分析。工作的基本原理是X射線管發(fā)出的初級X射線激光試樣中的原子，產生的熒光X射線通過晶體分光并用探測器測量，根據各種元素特征X熒光譜線的波長和強度進行元素的定性和定量分析。下面我們?yōu)槟榻B下儀器常見的幾大故障原因和處理i辦法。
1、故障現象：X光管頻繁自動關掉
分析：發(fā)現X光管發(fā)生器溫度較高
處理：清理或更換X光管發(fā)生器排風扇
2、故障現象：熒光不自檢，不聯機、不復位；多次重新啟動還是一樣
處理：卸真空后，重新啟動計算機，熒光自檢、聯機、復位正常，但在抽真空時，不能抽，出現大于25Ka時間太長，經查發(fā)現油泵和樣品室之間的過濾網堵塞嚴重，經更換后正常。
原因：油泵和樣品空之間的過濾網堵塞
3、故障現象：熒光不能聯機
處理：關光管、關機，重新啟動，不聯機，把“ICS”內容剽掉后正常
4、障現象：熒光進樣時間長，甚至不分析
處理：檢查黃銅蓋更換o形環(huán)，還是漏氣，卸直空，揭人蓋，清小車，更換進樣軸封
原因：進樣軸封漏氣
5、故障現象：熒光樣品盒進去，不出來
處理：關光管、關機，重新啟動，不進行初始化
原因：經檢查盒蓋未蓋上，只放在上面，導致盒超出范圍，進去后出不來，又不能進行初始化
6、故障現象：熒光分子泵停真空度高
處理：卸真空，揭大蓋、清小車上下密封環(huán)，正常
原因：熒光光譜室內漏氣所致
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